TCO 玻璃镀膜的两种工艺

目前TCO 玻璃镀膜主要有两种工艺，化学气相沉积法（CVD）与磁控溅射法（PVD）。化学气相沉积法又分为在线化学气相沉积法、离线化学气相沉积法与低压化学气相沉积法。
在线化学气相沉积法是目前光伏TCO 镀膜的主要方式，它就是在浮法玻璃生产线锡槽的上方安装镀膜设备。在浮法玻璃生产过程中，当玻璃处于接近700℃高温时，在玻璃表面沉积金属氧化物薄膜，通过化学间结合，成为玻璃表面一部分。
目前TCO 玻璃中最主要的品种为FTO 玻璃，它就是在玻璃表面在线高温沉积掺氟的氧化锡而成的。
离线化学气相沉积法是在超白浮法玻璃生产之后，再进行化学气相沉积得到TCO 玻璃。低压化学气相沉积法类似于离线化学气相沉积法。
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