MO源及其应用领域

MO源即高纯金属有机源，是利用先进的金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺生成化合物半导体材料的关键支撑原材料。MO源的质量直接决定了最终器件的性能，因此MOCVD工艺对MO源的质量要求很高，其中纯度是衡量MO源质量的关键指标。在生产LED的过程中，根据亮度和光色的不同，需要将三甲基镓和三甲基铟等MO源按一定比例搭配，其中，三甲基镓的用量最大，三甲基铟的使用比例一般小于10%。
MO源是制备LED的核心原材料之一，目前90%以上的MO源都用来生产LED外延片。此外，MO源逐渐用于新一代太阳能电池领域如非晶硅薄膜太阳能电池、砷化镓太阳能电池等领域；另外在相变存储器、半导体激光器、射频集成电路芯片等其他高科技领域的应用也逐步展开。