目前TCO 玻璃镀膜主要有两种工艺,化学气相沉积法(CVD)与磁控溅射法(PVD)。化学气相沉积法又分为在线化学气相沉积法、离线化学气相沉积法与低压化学气相沉积法。 在线化学气相沉积法是目前光伏TCO 镀膜的主要方式,它就是在浮法玻璃生产线锡槽的上方安装镀膜设备。在浮法玻璃生产过程中,当玻璃处于接近700℃高温时,在玻璃表面沉积金属氧化物薄膜,通过化学间结合,成为玻璃表面一部分。 目前TCO 玻璃中最主要的品种为FTO 玻璃,它就是在玻璃表面在线高温沉积掺氟的氧化锡而成的。 离线化学气相沉积法是在超白浮法玻璃生产之后,再进行化学气相沉积得到TCO 玻璃。低压化学气相沉积法类似于离线化学气相沉积法。 (本短评是中恒远策市场调研部原创,转载请注明中国智囊风云榜www.topo100.com)
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